{"product_id":"9783866444966","title":"Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren : Dissertationsschrift (Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie 2) (2010. IX, 125 S. Ill., graph. Darst. 21 cm)","description":"§06§Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu ermöglichen, welche sich nicht für monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufwändige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen Eignung auch für größerer Stückzahlen durch Übertragungstechniken auf der Waferebene vermieden. Als Demonstratorsystem dient ein Kunststoff-Mikroventil mit einem Aktor aus einer Formgedächtnislegierung.\u003cbr\u003e","brand":"KIT SCIENTIFIC PUBLISHING","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":52360973254967,"sku":"00000_00000_00000_00000","price":287.15,"currency_code":"MYR","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0962\/3548\/7543\/files\/9783866444966-1.jpg?v=1783281933","url":"https:\/\/kinokuniya.com.my\/products\/9783866444966","provider":"Books Kinokuniya Malaysia","version":"1.0","type":"link"}